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  • 연구실 소개

    한국생산기술연구원 청정기술연구소 탄소중립산업기술연구부문 이천규 선임연구원의 연구실입니다.
    반도체 식각공정용 초저온 냉각 시스템 개발, 냉동 사이클 설계, 히트펌프 설계 등 다양한 극저온 냉동 및 초저온 냉동 시스템 관련 연구를 진행하고 있습니다.
    반도체 식각 공정에 적용 가능한 초저온 칠러 시스템 개발, 극저온을 적용한 반도체 식각 공정도 한 분야로 연구를 진행하고 있습니다.
    혼합냉매 줄톰슨(Joule-Thomson)냉동기 기반의 시스템을 이용하여, 다양한 산업계에 application을 넓히고자 합니다.

  • 연구분야 키워드

    • #반도체
    • #반도체 식각공정
    • #저온공학
    • #칠러
    • #혼합냉매
    • #히트펌프

  • 연구실 지원 방법

    cklee at(@) kitech.re.kr 로 자유롭게 지원해주시면 됩니다.

  • 자격 조건

    대학생 중 석사 이상의 학위에 관심이 높고, 기계공학과 열-유체에 흥미가 많은 분

  • 대우 조건

    연구원에서 기숙사 제공 가능합니다.
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이천규 선임연구원

한국생산기술연구원 청정기술연구소

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